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隨著激光發(fā)射系統(tǒng)的發(fā)射功率不斷提高， 對(duì)精確控制高能激光束發(fā)射方向的要求也越來越 高?？?速 控 制 反 射 鏡 （Ｆａｓｔ Ｓｔｅｅｒｉ ｎ ｇ  Ｍ ｉｒｒｏｒ ， ＦＳＭ ） 是可以快速轉(zhuǎn)動(dòng)反射鏡實(shí)時(shí)控制光束方向 的裝置， 它通過調(diào)整反射鏡的角度達(dá)到控制激光 束發(fā)射方向的目的， 以體積小、 結(jié)構(gòu)緊湊、 速度快、 精度高、 帶寬高等優(yōu)點(diǎn)被廣泛應(yīng)用于天文望遠(yuǎn)鏡、 激光通訊、 圖像穩(wěn)定、 復(fù)合軸精密跟蹤、 瞄準(zhǔn)等光 學(xué)系統(tǒng)中， 已成為激光發(fā)射系統(tǒng)中進(jìn)行光束方向 控制的關(guān)鍵部件之一。

近年來， 歐美國家采用了全柔性機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)概 念， 將柔性機(jī)構(gòu)與音圈電機(jī)或壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)相結(jié) 合， 設(shè)計(jì)出了一系列柔性軸Ｆ Ｓ Ｍ 系統(tǒng)： 德國Ｐ Ｉ公 司研制了多種規(guī)格用于不同領(lǐng)域的快速反射鏡， 是微驅(qū)動(dòng)領(lǐng)域的先驅(qū)； 此外， 英國 Ｑ ｕ ｅ ｅ ｎ ｓ ｇ ａ ｔ ｅ公 司， 美國 Ｂ ａ ｌ ｌ ?。?ｅ ｒ ｏ ｓ ｐ ａ ｃ ｅ ?。?Ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｇ ｙ 公司， 意 大利 Ｔ ｈ ｅ ｒ ｍ ｏ ?。?ｒ ｅ ｚ公司等也在此領(lǐng)域進(jìn)行了深 入研究， 研制出一系列不同參數(shù)的快速反射鏡。 這類產(chǎn)品的主要優(yōu)點(diǎn)是高精度、 高模態(tài)和長壽命， 但由于相關(guān)的理論研究尚不成熟， 此類機(jī)械裝置 均無法突破行程較小的限制， 能承載的反射鏡口 徑及質(zhì)量等都較低。國內(nèi)如成都光電技術(shù)研究 所， 西安２ ０ ５ 研究所， 哈爾濱工業(yè)大學(xué)等研制出的 兩軸系及柔性軸快速反射鏡均已廣泛應(yīng)用于實(shí)際 工程項(xiàng)目中。但框架式快速反射鏡驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)復(fù) 雜， 所需力矩較大； 柔性軸快速反射鏡在國內(nèi)的研 究起步較晚， 雖已發(fā)表了很多高水平學(xué)術(shù)論文， 但 轉(zhuǎn)化為工程方法的應(yīng)用還有待探索研究

根據(jù)高精度機(jī)械軸系與柔性軸系的特 點(diǎn)， 設(shè)計(jì)了一種以柔性鉸鏈為運(yùn)動(dòng)傳遞元件的快速反射鏡， 采用直線音圈電機(jī)作驅(qū)動(dòng)元件， 高精度光柵測微儀實(shí)現(xiàn)位置閉環(huán)控制，具有結(jié)構(gòu)簡單、 通光口徑大、 所需驅(qū)動(dòng)力小、行程大、控制精度高等 優(yōu)點(diǎn)，可滿足工程上對(duì)快速反射鏡行程及控制精 度等方面的性能要求。